DOC № 002·02 — Demi & Ultra Pure — Business Sector · 02 of 04 — KO/EN
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Sector02
Demi & Ultra Pure Water · 정수·순수 처리

Demi & Ultra Pure.

UPWROEDI 반도체발전·원자력
Brief반도체·전자·발전·원자력용 초순수(UPW) / Demi Water 설비. UF + 2-Pass RO + EDI + MBP 통합 패키지.
Demi & Ultra Pure · UPW · Demi Water

From source,
to ultrapure.

TechUF · RO · EDI
Resistivity18.2 MΩ·cm
IndustrySemicon·Power
StandardSEMI F63

이온까지 제거하는
통합 설계.

OverviewUF 전처리부터 EDI polishing까지. 반도체·발전 산업의 까다로운 수질 기준을 단일 사업자가 책임집니다.

Our Approach

18.2 MΩ·cm까지,
한 사업자가 책임집니다.

반도체 공정수의 비저항 18.2 MΩ·cm는 단일 장비로 도달할 수 없습니다. 전처리(UF) → 1·2-Pass RO → EDI → MBP polishing까지, 단계별 최적 멤브레인과 운영 조건을 통합 설계해야 합니다.

미래엔지니어링은 반도체·발전·바이오 분야 다수 레퍼런스를 기반으로, 원수 수질에 맞춘 턴키 패키지를 제공합니다.

  • UF (Ultra Filtration) · 0.02μm 한외여과 · 100% Integrity
  • 2-Pass RO · 이온·유기물 99% 이상 제거
  • EDI (Electro-Deionization) · 약품 재생 없는 연속 운전
  • MBP / UV / TOC 모니터링 · UPW 후단 polishing 일체화

Key Figures · 핵심 지표

Resistivity
18.2MΩ·cm
EDI polishing으로 UPW 수준 비저항 달성
Ion Rejection
99%↑
2-Pass RO 구성으로 이온·유기물 안정 제거
Pore Size
0.02μm
UF 전처리 한외여과 · 100% Integrity
Industry
Semi·Power
반도체·발전·원자력·바이오 적용

UPW 사양, 함께 정합니다.

요구 비저항·TOC·생산 용량을 알려주시면
최적 패키지 구성과 Footprint, 제안서를 제출해드리겠습니다.

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